日前，HICOOL 2026全球创业大赛结果揭晓。北京云汉星驰激光技术有限公司“高功率窄线宽193nm皮秒激光器”项目获大赛三等奖。项目攻克半导体先进制程掩膜版检测核心深紫外光源技术，为集成电路关键装备核心光源国产化替代筑牢技术根基。

高功率窄线宽193nm皮秒激光器

先进制程掩膜版缺陷检测是芯片制造前道环节不可或缺的关键工序，而193nm深紫外激光器是掩膜版检测设备的核心光源。海外商用193nm深紫外激光器采购及后期运维成本高昂，制约国内芯片产线稳定运行与迭代升级。

北京云汉星驰激光技术有限公司围绕193nm深紫外皮秒激光输出、窄线宽控制、多阶非线性频率变换、高稳定性长时间连续工作等核心技术目标，针对掩膜版检测对光源功率、线宽、光束质量、长时间工作可靠性等严苛行业要求，攻克多阶非线性频率转换、窄线宽皮秒种子源调制、深紫外抗损伤光学系统设计、整机高稳定温控等关键核心技术，自主搭建完整的激光产生光路体系，实现高功率窄线宽193nm皮秒激光器国产化研制。

针对深紫外光路元器件易损伤、频率变换效率低、输出参数漂移等行业共性难题，该项目还着力完成光学元器件选型优化、光路结构仿真迭代与整机闭环温控系统开发，保障激光器输出指标满足先进制程掩膜版缺陷检测的使用标准，可直接面向集成电路制造前道掩膜版缺陷检测设备开展配套应用。

北京云汉星驰激光技术有限公司2023年11月落户怀柔，共有办公场地7500平米，其中百级超净车间2500平方米，是国内最大的固体深紫外激光器生产基地。“怀柔科学城作为国家级科学中心，有大量的科研机构和优秀的科学家，我们和很多在怀科研院所都有紧密合作。未来我们会继续向着极紫外迈进，保障我们先进制程半导体产线顺利运行，在解决关键技术卡脖子方面作出更大贡献。”北京云汉星驰激光技术有限公司负责人李凯表示。

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文字：高宇晴

编辑：杨蕊