一边是产业一线“卡脖子”的技术难题，一边是高校院所、科创企业蓄势待发的硬核技术。11月4日下午，原子级制造“院士专家城市行”（北京站）活动技术供需对接会在金隅兴发科技园举办。供需单位分别登台分享，产学研各方围坐一堂，围绕半导体原子级制造工艺、原位测量、薄膜与石墨烯材料制备等方向，聊场景、探路径、谋合作。

原子级制造要从实验室样品，稳定走向工业化量产，离不开一双能看清“原子生长”的眼睛。

天津大学精密仪器与光电子工程学院副教授沈万福带来的，正是这样一套原位测量技术。“原子级制造量产，质量把控是关键，我们的技术就相当于给生产装上一双‘眼睛’。”沈万福介绍，团队依托反射光谱结合偏振调制方案，可以实现单原子乃至亚单原子级灵敏度的原位监测，适配MOCVD等工业产线场景，实时追踪薄膜生长状态，给高性能产品研发提供指引。

这项原位测量技术需要和蒸镀、化学气相沉积、原子层沉积设备厂商深度联动，把检测探头集成到生产装备当中。这次参会，沈万福见到金刚石制备、镀膜等不同赛道的产业方。“我们各方携手找准切入点，就能真正赋能原子制造产品提升性能、推向市场。”他说。

如果说原位测量是制造过程的“眼睛”，原子尺度仿真模拟，就是提前预判工艺效果的“数字沙盘”。北京龙讯旷腾科技有限公司创始人汪林望团队深耕原子尺度模拟，聚焦半导体工艺仿真，这也是原子制造链条至关重要的一环。

“仿真算法落到真实产线、能够解决企业痛点。”汪林望说，“现场汇聚了众多半导体设备、新材料企业，不少企业代表对接咨询，让我看到了真实旺盛的市场需求。也希望借这一平台，持续摸清产业一线痛点，迭代仿真工具，打磨适配产业场景的模拟方案。”

记者注意到，对接会上的分享覆盖了原子级制造全链条：原子级加工仿真软件，助力传统装备冲刺原子级加工精度；单层石墨烯散热器件产业化，走进消费电子市场；团簇等离子体加工技术，可实现表面粗糙度低于1纳米的超高精度加工；多项光学检测技术，支撑原子层薄膜规模化生长的原位在线监测……一条完整的原子级制造体系清晰呈现。